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详细介绍
电子厂洁净车间及洁净区空气中悬浮粒子的洁净度等级
| 空气洁净度等级(N) | 大于或等于表中粒径的浓度限值(pc/m3) | ||||||
| ISO标准 | 中国标准 | 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um |
| 1 | | 10 | 2 | | | | |
| 2 | | 100 | 24 | 10 | 4 | | |
| 3 | (二级) | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| 4 | (十级) | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
| 5 | (百级) | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| 6 | (千级) | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| 7 | (万级) | | | | 352000 | 83200 | 2930 |
| 8 | (十万级) | | | | 3520000 | 832000 | 29300 |
| 9 | (百万级) | | | | 8320000 | 293000 | |
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