Cryo-Plex 16低温泵16英寸口径

Cryo-Plex 16低温泵16英寸口径

成熟的低温泵设计 - 高容量和高性能

Cryo-Plex16低温泵是一种高容量低温泵，具有成熟的双级冷头设计（吉福德/麦克马洪原理）高抽速捕捉水蒸汽和气体，实现无油，高和超高真空。Cryo-Plex16低温泵是专为大型真空应用，可靠性，性能和容量是非常重要的。

主要特点与优势

单台低温泵解决方案

单*台Cryo-Plex16低温泵即可满足容量和性能要求的许多大腔室应用。单台低温泵解决方案简化了安装和维护，提高工作效率和降低总成本，使Cryo-Plex16成为低温泵箱涂层系统，空间模拟室和电子束镀膜系统的*解决方案。

工业标准设计

Cryo-Plex16个进口法兰配置符合行业标准的标准化组织（ISO）和CVC规格，可无缝集成到现有的工艺设施，方便与其他OEM冷泵交换。

灵活的配置

完备的生产线，低温泵配件支持灵活的配置，以确保可靠性和*性能。Cryo-Plex16低温泵基于行业标准或定制设计，可以安全地安装在任何方向。硅二极管或氢蒸汽球（HVB）传感器在第二阶段测量温度，以帮助控制再生过程中（双二极管也可用）。

亮点

• 高容量，高性能的设计
• 可靠的高速无油的高和超高真空
• 二十年的历史，成熟的技术和专业的设计
• 行业标准的兼容性，可无缝集成到现有设施
• 优化的监视和控制（可选）
• 销售和24×7支持
• 美国制造

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聂禄君   +86-21-56830192    +86-   nielujun@sunano.com.cn